{"id":2657,"date":"2026-04-03T06:27:42","date_gmt":"2026-04-03T06:27:42","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/?p=2657"},"modified":"2026-04-03T06:28:29","modified_gmt":"2026-04-03T06:28:29","slug":"the-role-of-quartz-components-in-semiconductor-equipment-materials-applications-and-2026-trends","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/the-role-of-quartz-components-in-semiconductor-equipment-materials-applications-and-2026-trends\/","title":{"rendered":"Kvartsikomponenttien rooli puolijohdelaitteissa: Materiaalit, sovellukset ja vuoden 2026 suuntaukset"},"content":{"rendered":"<p>Nykyaikaisessa puolijohdevalmistuksessa materiaalitiede on yht\u00e4 t\u00e4rke\u00e4\u00e4 kuin itse laitteet. Kaikista funktionaalisista materiaaleista eritt\u00e4in puhdas kvartsi (SiO\u2082) on v\u00e4ltt\u00e4m\u00e4t\u00f6n selk\u00e4ranka l\u00e4hes kaikissa sirujen valmistuksen vaiheissa yksikiteisen piin kasvattamisesta pitk\u00e4lle kehitettyyn kiekkojen k\u00e4sittelyyn. Poikkeuksellisen puhtautensa, korkean l\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vyytens\u00e4, kemiallisen inertisyytens\u00e4 ja optisen l\u00e4pin\u00e4kyvyytens\u00e4 ansiosta kvartsikomponentit ovat v\u00e4ltt\u00e4m\u00e4tt\u00f6mi\u00e4 puolijohdetehtaissa vaadittavien eritt\u00e4in puhtaiden ja tarkasti valvottujen ymp\u00e4rist\u00f6jen yll\u00e4pit\u00e4misess\u00e4.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"683\" src=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-1024x683.webp\" alt=\"\" class=\"wp-image-2658\" srcset=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-1024x683.webp 1024w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-300x200.webp 300w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-768x512.webp 768w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-1536x1024.webp 1536w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-18x12.webp 18w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-600x400.webp 600w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets.webp 2048w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">1. Kvartsin perusominaisuudet ja prosessin yhteensopivuus<\/h2>\n\n\n\n<p>Kvartsin laaja k\u00e4ytt\u00f6 puolijohdelaitteissa perustuu sen ainutlaatuisiin fysikaalisiin ja kemiallisiin ominaisuuksiin:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>Eritt\u00e4in korkea puhtaus (4N8 ja sit\u00e4 korkeampi)<\/strong>: Metalliset ep\u00e4puhtaudet voidaan hallita ppm- tai jopa ppb-tasolle asti.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Erinomainen l\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vyys<\/strong>: Sulamispiste yli 1700 \u00b0C, pitk\u00e4aikainen k\u00e4ytt\u00f6 yli 1100-1200 \u00b0C.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Alhainen l\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin<\/strong>: Minimoi l\u00e4mp\u00f6j\u00e4nnityksen ja muodonmuutokset<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Erinomainen kemiallinen kest\u00e4vyys<\/strong>: Kest\u00e4\u00e4 useimpia happoja ja kaasuja paitsi fluorivetyhappoa (HF) vastaan.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Korkea optinen l\u00e4pin\u00e4kyvyys<\/strong>: \u10d2\u10d0\u10dc\u10e1\u10d0\u10d9\u10e3\u10d7\u10e0\u10d4\u10d1\u10d8\u10d7 tehoaa ultraviolettien (UV) aallonpituuksiin.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>N\u00e4iden ominaisuuksien ansiosta kvartsi voi toimia paitsi rakennemateriaalina my\u00f6s olennaisena osana itse prosessiymp\u00e4rist\u00f6\u00e4.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. Piikiteiden kasvu: Kvartsiupokkaiden perustavanlaatuinen rooli.<\/h2>\n\n\n\n<p>Czochralski-prosessissa (CZ-prosessi) kvartsisulattimet ovat v\u00e4ltt\u00e4m\u00e4tt\u00f6mi\u00e4 tarvikkeita, joita k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n polysilicon sulattamiseen ja yksikiteisten piiharkkojen kasvattamiseen.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">T\u00e4rkeimm\u00e4t tekniset vaatimukset:<\/h3>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>Parametri<\/th><th>Tyypillinen erittely<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>Puhtaus<\/td><td>\u2265 99,998% (4N8)<\/td><\/tr><tr><td>K\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila<\/td><td>1400-1600\u00b0C<\/td><\/tr><tr><td>Hapen valvonta<\/td><td>Kriittinen vikojen suunnittelun kannalta<\/td><\/tr><tr><td>Mittapysyvyys<\/td><td>Est\u00e4\u00e4 muodonmuutoksia kasvun aikana<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<p>Kvartsiupokkaat vaikuttavat hapen kulkeutumiseen piisulaan, mik\u00e4 vaikuttaa suoraan kidevirheisiin ja s\u00e4hk\u00f6isiin ominaisuuksiin. T\u00e4m\u00e4n vuoksi sek\u00e4 raaka-aineen laatua ett\u00e4 valmistusprosesseja (esim. kaarisulatus, rotaatiomuovaus) valvotaan tiukasti.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. Korkean l\u00e4mp\u00f6tilan k\u00e4sittely: Kvartsiputket ja -laivat<\/h2>\n\n\n\n<p>Kvartsikomponentteja k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajasti <strong>diffuusio, hapetus ja kemiallinen kaasufaasipinnoitus (CVD).<\/strong> prosessit.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.1 Kvartsiputket<\/h3>\n\n\n\n<p>Kvartsiputket toimivat korkean l\u00e4mp\u00f6tilan reaktiokammioina:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Jatkuva k\u00e4ytt\u00f6 yli 1100\u00b0C<\/li>\n\n\n\n<li>Eritt\u00e4in v\u00e4h\u00e4inen metallikontaminaatio (\u22641 ppm)<\/li>\n\n\n\n<li>Korkea l\u00e4mp\u00f6shokkien ja muodonmuutosten kest\u00e4vyys<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.2 Kvartsiveneet<\/h3>\n\n\n\n<p>Kvartsialuksia k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n useiden kiekkojen kuljettamiseen er\u00e4k\u00e4sittelyn aikana:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Yhteensopiva 4-12 tuuman kiekkojen kanssa.<\/li>\n\n\n\n<li>Saatavana pysty- ja vaakakokoonpanoissa<\/li>\n\n\n\n<li>Vaaditaan suurta mekaanista lujuutta ja eritt\u00e4in pient\u00e4 hiukkasten muodostumista.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>Yhdess\u00e4 n\u00e4m\u00e4 komponentit muodostavat kiekkotehtaiden l\u00e4mp\u00f6k\u00e4sittelyj\u00e4rjestelmien selk\u00e4rangan ja vaikuttavat suoraan saantoon ja prosessin tasalaatuisuuteen.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. Sy\u00f6vytys ja laskeutuminen: Kvartsin rakennekomponentit<\/h2>\n\n\n\n<p>Plasmasy\u00f6vytyksess\u00e4 ja ohutkalvop\u00e4\u00e4llystysprosesseissa (esim. <strong>PVD, CVD ja ALD<\/strong>), kvartsiosat toimivat kriittisin\u00e4 rakenne- ja suojaelementtein\u00e4.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Tyypilliset kvartsikomponentit:<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>Kvartsirenkaat ja tarkennusrenkaat<\/strong>: Pit\u00e4\u00e4 plasman tasaisena ja suojaa kammion sein\u00e4mi\u00e4.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Kvartsi laipat<\/strong>: Varmista tyhji\u00f6tiivistys ja j\u00e4rjestelm\u00e4n eheys<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Kvartsiruiskut<\/strong>: Toimittaa tarkasti prosessikaasuja tai nesteit\u00e4<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>N\u00e4iden komponenttien on kestett\u00e4v\u00e4 plasmaaltistusta, reaktiivisia kaasuja ja suurienergist\u00e4 ionipommitusta s\u00e4ilytt\u00e4en samalla mittatarkkuus ja puhtaus.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. Puhdistusprosessit: Kvartsis\u00e4ili\u00f6t ja -kannattimet<\/h2>\n\n\n\n<p>M\u00e4rk\u00e4puhdistus on t\u00e4rke\u00e4 vaihe puolijohteiden valmistuksessa, ja siihen k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n kemikaaleja, kuten HF, H\u2082SO\u2084 ja NH\u2084OH.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Kvartsisovellukset puhdistuksessa:<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>Kvartsin puhdistuss\u00e4ili\u00f6t<\/strong>: \u0645\u0642\u0627\u0648\u0645\u0629 vahvat hapot ja korkeat l\u00e4mp\u00f6tilat.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Kvartsikorit (kantajat)<\/strong>: Pit\u00e4\u00e4 kiekkoja kemiallisen puhdistuksen aikana<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Kvartsi nesteen ker\u00e4yspullot<\/strong>: Kemikaalij\u00e4\u00e4mien ker\u00e4\u00e4minen ja varastointi ilman kontaminaatiota.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>Kvartsi varmistaa, ett\u00e4 puhdistuksen aikana ei p\u00e4\u00e4se syntym\u00e4\u00e4n ylim\u00e4\u00e4r\u00e4isi\u00e4 ep\u00e4puhtauksia, mik\u00e4 on ratkaisevan t\u00e4rke\u00e4\u00e4 kehittyneiss\u00e4 solmupisteiss\u00e4, joissa kontaminaation hallinta on eritt\u00e4in tiukkaa.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. Edistyneet sovellukset: Kvartsikellopurkit ja fotolitografia<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.1 Kvartsikellopurkit<\/h3>\n\n\n\n<p>Kvartsikellopurkkeja k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>Polysilicon tuotantoreaktorit<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>Epitaksiaaliset kasvuj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/strong><\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>Ne tarjoavat hallitun reaktioymp\u00e4rist\u00f6n ja mahdollistavat tasaisen l\u00e4mp\u00f6s\u00e4teilyn l\u00e4p\u00e4isyn, mik\u00e4 on olennaista prosessin vakauden ja kalvon tasaisuuden kannalta.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.2 Fotolitografia ja optiset komponentit<\/h3>\n\n\n\n<p>Kvartsia k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n my\u00f6s optisissa sovelluksissa sen suuren UV-l\u00e4pin\u00e4kyvyyden vuoksi:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>Kvartsifotomaskit<\/strong>: Toimivat \u201cp\u00e4\u00e4malleina\u201d mallien siirtoa varten.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Kvartsiikkunat<\/strong>: Mahdollistaa tarkan UV-valotuksen litografiaj\u00e4rjestelmiss\u00e4<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>N\u00e4m\u00e4 komponentit ovat v\u00e4ltt\u00e4m\u00e4tt\u00f6mi\u00e4 korkean resoluution kuvioinnin toteuttamiseksi kehittyneiss\u00e4 puolijohdeyksik\u00f6iss\u00e4.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">7. Prosessin seuranta: Kvartsikristallianturit<\/h2>\n\n\n\n<p>Ohutkalvop\u00e4\u00e4llystysprosesseissa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n kvartsikidemikropainon (QCM) antureita kalvon paksuuden reaaliaikaiseen seurantaan. N\u00e4m\u00e4 anturit perustuvat v\u00e4r\u00e4htelev\u00e4n kvartsikiteen taajuuden muutokseen massan laskeuman mittaamiseksi suurella tarkkuudella, mik\u00e4 takaa tasaisuuden ja prosessin hallinnan.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">8. Vuoden 2026 suuntaukset: Puhtaammat, suuremmat koot ja lokalisointi.<\/h2>\n\n\n\n<p>Puolijohdeteknologian kehittyess\u00e4 kvartsikomponenteille asetetaan yh\u00e4 tiukempia vaatimuksia:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">8.1 Korkeamman puhtauden standardit<\/h3>\n\n\n\n<p>Kehittyneiss\u00e4 solmupisteiss\u00e4 vaaditaan alle ppb:n ep\u00e4puhtaustasoja, mik\u00e4 ajaa synteettisen kvartsin kehitt\u00e4mist\u00e4 luonnonkvartsin sijaan.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">8.2 Suuremmat mitat<\/h3>\n\n\n\n<p>Siirrytt\u00e4ess\u00e4 kohti suurempia kiekkoja (300 mm ja sit\u00e4 suuremmat) kvartsikomponenttien on skaalaututtava vastaavasti s\u00e4ilytt\u00e4en samalla rakenteellinen eheys.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">8.3 Parannettu kest\u00e4vyys<\/h3>\n\n\n\n<p>Laitteiden pidemm\u00e4t elinkaaret ja ankarammat prosessiolosuhteet edellytt\u00e4v\u00e4t parempaa plasmaeroosion ja l\u00e4mp\u00f6syklien kest\u00e4vyytt\u00e4.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">8.4 Paikallistaminen ja toimitusketjun turvallisuus<\/h3>\n\n\n\n<p>Maailmanlaajuisten toimitusketjujen dynamiikan vaikutuksesta huippuluokan kvartsikomponenttien kotimaisesta valmistuksesta on tulossa strateginen prioriteetti erityisesti kehittyvill\u00e4 puolijohdemarkkinoilla.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">P\u00e4\u00e4telm\u00e4<\/h2>\n\n\n\n<p><a href=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/products\/\">Kvartsikomponentit<\/a> ovat paljon muutakin kuin apumateriaaleja puolijohteiden valmistuksessa - ne ovat prosessin vakauden, puhtauden ja tarkkuuden perusedellytyksi\u00e4. Kvartsilla on kriittinen rooli kiteiden kasvusta ja l\u00e4mp\u00f6k\u00e4sittelyst\u00e4 etsaukseen, puhdistukseen ja fotolitografiaan kaikissa vaiheissa.<\/p>\n\n\n\n<p>Kun puolijohdeteollisuus etenee yh\u00e4 vaativampiin teknologisiin solmukohtiin vuonna 2026 ja sen j\u00e4lkeen, kvartsimateriaalien vaatimukset - puhtaus, suorituskyky ja tarkkuus - kasvavat edelleen. T\u00e4m\u00e4 asettaa teknisi\u00e4 haasteita, mutta luo my\u00f6s mahdollisuuksia innovointiin ja lokalisointiin maailmanlaajuisessa puolijohteiden toimitusketjussa.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>In modern semiconductor manufacturing, material science plays a role as critical as the equipment itself. Among all functional materials, high-purity quartz (SiO\u2082) stands out as an indispensable backbone across nearly every stage of chip fabrication\u2014from single-crystal silicon growth to advanced wafer processing. Thanks to its exceptional purity, high thermal resistance, chemical inertness, and optical transparency, [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2658,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[781,783,774,772,775,767,780,782,55,773,777,768,764,763,64,765,776,766,770,65,131,62,778,51,771,779,769],"class_list":["post-2657","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-2026-trends","tag-advanced-semiconductor-materials","tag-ald","tag-cvd","tag-etching-process","tag-focus-ring","tag-high-purity-materials","tag-localization","tag-photolithography","tag-pvd","tag-qcm-sensor","tag-quartz-bell-jar","tag-quartz-boat","tag-quartz-components","tag-quartz-crucible","tag-quartz-injector","tag-quartz-photomask","tag-quartz-ring","tag-quartz-tank","tag-quartz-tube","tag-semiconductor-equipment","tag-semiconductor-manufacturing","tag-silicon-crystal-growth","tag-thin-film-deposition","tag-wafer-cleaning","tag-wafer-fab","tag-wet-cleaning"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2657","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2657"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2657\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2659,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2657\/revisions\/2659"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2658"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2657"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2657"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2657"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}