Přehled produktů

Dvoupalcová křemenná destička je polovodičový substrát vyrobený z vysoce čistého oxidu křemičitého (SiO₂). Díky přesným technikám zpracování, jako je CNC řezání a laserové leštění, dosahuje mikronové rovinnosti. Tyto destičky splňují normy SEMI a podporují přizpůsobení rozměrů a tloušťky (tolerance ±0,02 mm), takže jsou vhodné pro optoelektroniku, MEMS (mikroelektromechanické systémy) a balení polovodičů.

Společnost Fuyao poskytuje výrobu na míru pro nestandardní geometrie, včetně volných tvarů, odstupňované tloušťky a pokročilých povrchových úprav, jako jsou antireflexní (AR) povlaky a hydrofobní fólie. Kontrola kvality celého procesu zajišťuje celkovou odchylku tloušťky (TTV) <0,005 mm a drsnost povrchu Ra <1,5 nm. Pro časově náročné projekty je k dispozici výroba prototypů v malých sériích (minimálně 10 kusů) a možnost rychlého dodání.

Specifikace

Parametr	Specifikace
Průměr	2 palce (50,8 mm)
Rozsah tloušťky	0,1 mm - 1,0 mm
Čistota materiálu	≥99.99%
Drsnost povrchu (Ra)	≤5 nm
Celková odchylka tloušťky	≤10 μm
Propustnost (@193 nm)	>90%
Koeficient tepelné roztažnosti	~0.55×10-⁶/°C
Bod měknutí	~1665°C
Balení	Čisté prostory 100 úrovní

1 Optická dokonalost

• Široké spektrum propustnosti: >V ultrafialovém pásmu (185-3500 nm) s vynikajícím výkonem v krátkovlnném UV záření (185 nm).

• Nízká tepelná roztažnost: CTE ~0,52×10-⁶/°C (5-35°C), vydrží dlouhodobé teploty až 1100°C a krátkodobé působení až 1450°C.

2 Mechanická a chemická stabilita

• Vysoká pevnost: Tvrdost v ohybu 2-3× vyšší než u standardního skla, Mohsova tvrdost 7.

• Odolnost proti korozi: Odolnost vůči kyselinám je 30× vyšší než u keramiky, vhodná do náročných chemických prostředí.

3 Elektrická izolace

• Odpor přesahující 10¹⁸ Ω-cm s nízkými dielektrickými ztrátami při vysokých frekvencích, ideální pro VF obvody a senzory.

Primární aplikace

1 Výroba polovodičů

• Substráty pro obrazové senzory CMOS a balení čipů RFID, které podporují balení na úrovni waferu (WLP) pro vyšší integraci.

• substráty pro zařízení MEMS (např. snímače tlaku, akcelerometry) zajišťující strukturální stabilitu mikrosoučástek.

2 Optoelektronické systémy

• UV laserová okna a optické komunikační spojky, které využívají vynikající přenos UV záření.

• Letecká optická okna odolná vůči záření a tepelným cyklům.

3 Zdravotnictví a výzkum

• Vysokoteplotní optické komponenty pro endoskopické zobrazovací systémy.

• Tepelně odolná pozorovací okna pro laboratorní reaktory.

4 specializované křemenné okenní desky

• Volně tvarované povrchy, asymetrické otvory, odstupňovaná tloušťka.

• Okna s úhlovým řezem pro minimalizaci ztrát odrazem.

• Průchozí okna pro integraci více senzorů.

• Rychlé prototypování: Volitelné vakuové povlaky (AR nebo reflexní povlaky) pro výzkum a vojenské aplikace.

ČASTO KLADENÉ DOTAZY

1 Proč si vybrat 2palcové křemenné destičky ?
Dvoupalcové křemenné destičky jsou polovodičové substráty vyrobené z vysoce čistého oxidu křemičitého (SiO₂). Dosahují mikronové rovinnosti pomocí přesného CNC řezání a laserového leštění. Tyto destičky umožňují přizpůsobení rozměrů a tloušťky (±0,02 mm) a splňují normy SEMI, takže jsou ideální pro optoelektroniku, MEMS a balení polovodičů.

2 Jaké jsou hlavní aplikace dvoupalcových křemenných destiček ?
Používají se především při výrobě polovodičů (obrazové senzory CMOS, balení čipů RFID), v oknech UV laserů, v optických komunikačních spojkách a v optických součástkách pro letectví a kosmonautiku. Vlastní povrchové úpravy, jako jsou antireflexní povlaky, zvyšují výkonnost vysoce přesných systémů.